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四探針方阻電阻率測(cè)定儀硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國(guó)標(biāo)設(shè)計(jì)制造；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》.
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